医院洁净室
洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦不论外在空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
洁净室最主要的作用,在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子,直径大于划分标准的粒子数量来规定,也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒,相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到无尘标准的A级。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上,0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
空态:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施),它具备所有有关的服务和功能,但是,在设施内没有操作人员操作的设备。
静态:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。
动态:处于正常使用的洁净室,服务功能完整,有设备和人员,如果需要,可从事正常的工作。